Analyse des microstructures

Inspiré par le marché mondial et la diversification croissante des MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems), Polytec innove et propose une nouvelle gamme de produits pour la caractérisation des MEMS sous microscope, dont le tout dernier MSA-500.

Le MSA-500 (Micro System Analyser) est le premier outil de mesures, alliant 3 technologies en 1 seul capteur, pour la caractérisation dynamique et statique des microstructures. Cet analyseur modulable permet l'analyse et la visualisation des micromouvements 3D, ainsi que la mesure de topographie de surfaces.

Utilisant des optiques microscopes standards, les systèmes Polytec pour microscopie s'adaptent facilement dans un environnement existant.

Pouvant être utilisés sur microscopes standards équipés de monture C, tous les systèmes Polytec préconisés pour les microstructures peuvent être intégrés sur bancs d'essai pour MEMS sur wafer.

 

 

 

 Exemple d'application

 
 Copyright 2009 Polytec France. Spécifications techniques sous réserve de changements.
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MSA-500 : Analyseur de Micro Systèmes

Le MSA-500 Analyseur de Micro Systèmes, l'outil idéal pour la mesure précise, l'analyse rapide ainsi que la caractérisation 3D dynamique des MEMS, MOEMS et autres microstructures.

  • Système combinant la vibrométrie Laser Doppler et la vidéo stroboscopie

  • Permet une haute productivité grâce à une méthode de mesure rapide et des temps de mesures très courts

  • Le microscope intégré avec le chemin optique optimisé garantit une excellente résolution latérale et une image haute qualité

  • Fonctionnement simple et intuitif, permettant de démarrer les mesures en quelques minutes


 Features | Techn. Data | Applications | Download |
MSA-400 Micro System Analyzer
MSA-500 : Analyseur de Micro Systèmes

MSV-400 Vibromètre Laser à Balayage pour Microscope

Le MSV-400 permet la caractérisation des mouvements hors plan des microstructures de type MEMS, en s'adaptant sur des microscopes classiques

  • Bande de fréquence de 20MHz et diamètre du spot laser <1µm  

  • Mode fast-scan, permettant l'acquisition de données à un rythme de 100 points/seconde, et ceci avec une résolution de l'ordre du picomètre. 

  • Système intégrable dans un banc d'essai des MEMS sur wafer.


 Features | Technical Data | Applications | Datasheet |
MSV-400 : Vibromètre Laser à Balayage pour Microscope

MSV-050/100 : Adaptateur pour Microscope

Cet interface permet d'adapter le Vibromètre Laser Doppler (LDV) à des application MEMS. Il permet d'interfacer la tête optique d'un vibromètre à fibre optique sur un microscope.

  • Précision de l'analyse des vibrations différentielles et mono-point sur des structures microscopiques

  • En option, module d'acquisition vidéo avec résolution élevée

  • Design du MSV-400 modulable 

 Features | Technical Data | Accessories | Datasheet |
MSV-050/100 : Adaptateur pour Microscope

UHF-120 Vibromètre Ultra Haute Fréquence

Le nouveau vibromètre ultra haute fréquence UHF-120 permet de caractériser des vibrations hors plan même si la fréquence est très élevée. L'UHF-120 permet de mesurer des vibrations d'une fréquence de 1,2 GHz. Doté d'une nouvel équipement optique, le système propose les mêmes fonctionnalités que le LDV.


 Features | Download |
UHF-120

PSV Software

PSVSoft fonctionne avec le vibromètre laser PSV. Il permet l'acquisition et le traitement des données vibratoires hors plan faites avec les systèmes PSV-400-1D et 3D et le MSA-500-M (Version Hors Plan) commercialisés par Polytec . PSVSoft présente les avantages suivants :

  • Supervision de votre campagne de mesure
  • Puissance de traitement des données
  • Animation 3D des résultats de mesure (pour une interprétation intuitive des résultats)
  • Interfaçable avec les logiciels d'analyse modale, de FEM, ...

 General | 8.7 | 8.6 | 8.5 | Rel. 8.4 | Rel. 8.3 | Updates |
Exemple d'animation sous PSVSoft

PMA Software

PMASoft est un logiciel intuitif permettant de faire de l'analyse "in-plane" de données microscopiques. Il est vendu avec le MSA-400 qui permet de faire de l'analyseur de Micro-structures, et le PMA-400 utilisé pour la caractérisation de surface. A propos du PMASoft :

  • Logiciel de supervision et d'analyse
  • Traitement d'images sous-pixellisées 
  • Lecture ralentie des vidéo de caractérisation de surface 
  • Diagramme de Bode (temps de réponse et courbe d'évolution)
  • Rapport d'analyse détaillé exportable vers d'autres utilitaires

 General | PMA 2.6 | PMA 2.5 | Release 2.4 | Updates |
Animation PMASoft

TMS Software

TMSsoft est un logiciel d'acquisition et d'analyse de données facile à utiliser. Cet utilitaire comprend tout ce qui est nécessaire au contrôle de la solution, la gestion, le traitement et l'affichage des données. La vue 2D ou 3D est configurable (données du profil, algorithmes, ...)


 Updates | Features |
Vue à l'écran du TMS Software