为什么要测量表面平整度？
平整度在很多领域里至关重要，为了确保技术部件的功能，许多零件在制造时都规定了表面平面度公差。平整度是一个重要的表面参数，它会影响法兰和阀座密封面的渗漏。在精密抛光学应用中，如玻璃基板、光学反射镜或分束器的平整度是最重要的质量指标之一。不仅精密机械和光学元件会广泛用到平整度公差，此外，在电子工业中，PCB板的平整度也要在规定的公差范围以内，以保证它与多个部件的电气连接质量，例如焊接工艺。对于相对移动的表面而言，表面平整度也会影响部件的噪声水平和声辐射。简而言之，平整度公差会影响产品的可靠性、功能甚至噪声。
关于平整度和形貌评估的可行性研究！
干涉精度评估平整度
红外光谱仪试管是采用高品质光学透明材料的关键部件，在装配时需要使用非常精确的机械夹具进行精确定位。TopMap白光干涉仪测量的是试管与夹具窗口的位置和方向等相关参数，以及夹具的表面平整度以及不同平面之间的垂直台阶高度。TopMap扫描式白光干涉仪(WLI)，非接触式表征样品形状、台阶高度和纹理，具有极高的垂直分辨率，且不受视场影响。即使不拼接，单次测量范围达45mmx34mm，只需几秒钟即可完成整个测试。与专用机械接触式形貌测量技术相比，光学全场测量一次能测量高达一百万个测点。
现场或在线测试样品平整度
ISO平整度及如何计算
一般而言，计量学中的几何平面度定义为包含所有测点的两个平行平面之间的垂直偏差。然而，不同的ISO标准的平行平面计算方法不同。为了比较不同测量系统和技术所获得的表面平整度测量结果，参考某一ISO标准非常重要。ISO 1101标准规定，包含所有测点的两个平行平面间的距离必须尽可能小。而在ISO 12781中，平整度则定义为两个平面的最低点和最高点之间的距离。无论使用何种ISO标准，我们的目的是要有效地消除数据集里的异常值，以防止某个单峰值主导测量结果。
使用光学测量表面平整度的优势
通常使用接触式剖面仪或非接触式(光学)形貌测量仪来进行平整度测量。诸如坐标测量机(CMM)之类的接触式测量系统通常用于大型零部件的平整度测量，以及需要表征多维、几何或位置公差等数据。然而，CMM由于是逐点测试，通常需要耗费很长时间，通常会加大测点间距以节省测试时间。因此，这种方法就会导致丢失局部形状偏差细节。
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表面平整度测量(光学相干扫描)
非接触式平整度测量技术，如白光干涉仪，使用相干扫描技术，瞬间内一次完成多达数百万个测点的整个区域的平整度测量，这可用于早期生产阶段的故障部件检测。由于白光干涉仪采用的是非接触式无损检测技术，因此，柔软或超薄部件亦可进行可靠的平整度评估。平面平整度测量非常适合于产线上的质量控制或100%产品测试。
平整度公差检测，全自动判别合格/不合格产品
为确保每个零件都符合整面度公差和质量标准，可实施100%质量控制的检测程序。客户定制软件可满足客户特定的测试需求和常规测量，且设置好的测试参数可以存储和运行。设置好平整度公差，并与测量值进行比较，即刻判定产品合格/不合格。系统还带有自动识别功能，识别出样品的位置变化后，评估并自适应新的位置。这确保了设备即使在苛刻的测试环境中也具有高的测试可重复性。
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