MEMS振动测量的创新式解决方案
由于微机电系统（简称为 MEMS）的快速进一步发展，Polytec 展示了一个创新的显微镜系统产品系列，您可以使用它来验证微系统的动力学和形貌。您可以在 Polytec 找到用于确定传递函数的完美设备，以及用于集成在（真空）探测站的微系统静态和动态 3D 表征的独特一体化仪器。
MSA-650 IRIS 显微式激光测振仪
Polytec全新的最先进的且已获得专利技术的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪，是目前世界上唯一能透过硅封装结构（无需拆除硅帽）获取硅器件面内和面外动态特性的系统，测试带宽覆盖DC~25 MHz。
MSA-600显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪专用于测量MEMS和显微结构，是获取三维静态特性与动态特性的一体化光学测量解决方案，其有助于加快产品开发进程，优化产品质量控制，甚至可集成至商用探针台上进行晶圆级测试。现在高达 8 GHz。
MSA-100-3D显微式激光测振仪
3D显微式激光测振仪同时记录XYZ三个方向的振动分量，测试带宽覆盖DC~25 MHz，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级，可用于面内和面外振动测试。
MSA-060显微式激光测振仪
MSA-060显微式激光测振仪是一款紧凑型光学测量系统，用于全面评估MEMS和微系统的振动特性、精密机械动力学和电子产品的可靠性，测试带宽覆盖DC~24MHz。 系统采用激光作为探测手段，以非接触、无损检测方式帮助用户获取被测微型元器件的动力学特性。