Une caractérisation complète de la dynamique et des propriétés de réponse mécanique des dispositifs à microstructure est cruciale pour la conception et le développement, le dépannage et la validation FEM des systèmes micro-électromécaniques (MEMS). C'est pourquoi la série d'analyseurs de microsystèmes MSA de Polytec offre des capacités de test optique rapides, précises et sans contact pour les MEMS tels que les capteurs inertiels, les microphones MEMS, les capteurs de pression et autres. Le MSA est un vibromètre laser Doppler à microscope dédié avec un vidéo microscope stroboscopique intégré, permettant de mesurer à la fois les mouvements dans le plan et hors du plan des MEMS. Désormais, le nouvel analyseur de microsystèmes MSA-650 IRIS permet même de mesurer à travers des capuchons de silicium intacts des microstructures encapsulées dans un état final.
Le silicium étant transparent dans le spectre du proche infrarouge au-delà de 1050 nm, la technologie sous-jacente de la mesure des vibrations par interféromètre infrarouge offre la possibilité d'inspecter les MEMS encapsulés pour obtenir des résultats d'analyse authentiques et très représentatifs. La toute nouvelle technologie d'interféromètre brevetée de Polytec fournit désormais des données de qualité supérieure en raison de la séparation supérieure des couches individuelles des dispositifs MEMS encapsulés dans le silicium. Avec une caméra SWIR dédiée et une source SLD à faible cohérence, le MSA-650 IRIS est le premier système de mesure au monde à utiliser cette technologie pour visualiser les dispositifs encapsulés au Si. Il mesure les vibrations dans le plan avec une résolution allant jusqu'à 30 nm et les vibrations hors du plan en temps réel jusqu'à une gamme de fréquences de 25 MHz et avec une résolution de l'ordre du picomètre et inférieure.
Inspecter des échantillons entiers par balayage optique à travers des capsules de silicium intactes dans des conditions de fonctionnement. La technologie de mesure IRIS de MSA offre une qualité de données supérieure grâce à la séparation nette des couches individuelles des dispositifs MEMS. Qu'il s'agisse de tests automatisés en ligne au niveau du wafer ou en laboratoire, contactez Polytec pour une description détaillée de vos besoins de mesure.
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