Topographie et dynamique des MEMS et des microsystèmes
Grâce aux systèmes polyvalents de mesure de surface de Polytec, vous pouvez accomplir vos tâches de micro et nano technologie de manière fiable, rapide et avec un haut niveau de précision. Vous pouvez éjecter les profondeurs des canaux de votre laboratoire sur puce, déterminer la hauteur des marches sur les emballages des MEMS, établir la planéité des capteurs de pression et analyser les MEMS à l'aide des paramètres de surface. Même effectuer des mesures dynamiques hors plan et dans le plan sur des filtres RF pour déterminer les fréquences de résonance en MHz sera désormais une tâche simple pour vous - grâce à la série d'analyseurs de microsystèmes MSA de Polytec.