Pour un développement efficace des micro et nanotechnologies
Pour développer et fabriquer des microsystèmes, une technique de mesure précise, fiable et rapide est essentielle pour la caractérisation et le contrôle de la qualité des composants. Ceci est d'autant plus important que les micros capteurs doivent assumer des tâches essentielles en matière de sécurité, avec des exigences élevées en termes de fiabilité et de sûreté de fonctionnement. La robustesse du design et l'extrême précision de la fabrication jouent à ce titre un rôle majeur. Des composants actifs micros-électro-mécaniques tels que des actionneurs MEMS (micros système électromécanique) ou des capteurs nécessitent des procédés de mesure optiques appropriés, une caractérisation purement électrique ne suffisant pas.
À cet effet, les analyseurs de micro système de Polytec sont parfaits ; ils permettent d'une part de déterminer la topographie de surface à haute résolution et d'autre part, de caractériser avec précision le comportement de mouvement dynamique également. La mesure dynamique par vibrométrie laser à effet Doppler se distingue par une grande largeur de bande de fréquence et une haute résolution d'amplitude du mouvement. Cette technique de mesure s'applique même aux mesures de vibration à hautes fréquences comprises entre des MHz et des GHz, telles qu'elles sont requises fréquemment pour des applications microtechniques.
Applications
- Test sur Wafer
![Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level]( "Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level")
Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level - Vérification de prototype
![MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium]( "MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium")
MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium - Transducteur à ultrasons
![Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells visualizing dynamic displacement]( "Laser Doppler vibrometer measurement of leaking CMUT transducer cells")
Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells, visible with a much lower dynamic displacement when operating the device - Caractérisation SAW
![Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter]( "Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter")
Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter - Micro-mécanique
![Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS]( "Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS")
Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS - Fiabilité MEMS
![Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber]( "Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber")
Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber - MEMS pour biomédical
![Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta]( "Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta")
Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta - Capteur de pression MEMS
![2D/3D profile of MEMS pressure sensor with 2.5x magnification and microscope measurement (courtesy: CIS)]( "2D/3D profile of MEMS pressure sensor with 2.5x magnification and microscope measurement (courtesy: CIS)")
2D/3D profile of MEMS pressure sensor with 2.5x magnification and microscope measurement. CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
La vibrométrie laser au service des détails les plus fins
Caractériser des structures de petites dimensions et délicates sans contact. Analyser les vibrations, l'acoustique et la dynamique. Étudier des échantillons biomédicaux, des composants électroniques et des microstructures telles que les MEMS par la lumière, sans ajout de masse, et ce, du courant continu jusqu'à la plusieurs GHz sur une large bande passante. Les vibromètres laser se concentrent sur les détails les plus fins, mesurant les déformées pour la validation des modèles numériques. Ils évaluent la réponse en fréquence et déterminent la fréquence de résonance, la réponse impulsionnelle et le taux d’amortissement (facteur Q). Quelle que soit leurs dimensions, les vibromètres Polytec caractérisent vos échantillons !