Profileur de surface 3D optique de nouvelle génération

TopMap Micro.View®+ est la nouvelle génération de profilomètre optique 3D. Conçu pour la modularité, ce poste de travail complet permet des configurations personnalisées et spécifiques à l'application. Le Micro.View®+ offre l'analyse la plus détaillée de la rugosité surfacique, la texture et la topographie de microstructures. La combinaison des données 3D avec les informations de couleur permet des visualisations étonnantes et une analyse étendue telle qu’une documentation détaillée des défauts. La caméra haute résolution de 5 MP offre une visualisation des données 3D incroyablement détaillée des surfaces techniques.

Points forts

  • Interféromètre lumière blanche haute performance avec résolution nanométrique
  • Plage de mesure Z de 100 mm avec technologie de balayage continu CST
  • Automatisation mesure avec les nouveautés Focus Finder et Focus Tracker 
  • Axes motorisés et automatisés : X, Y, Z, inclinaison échantillon et tourelle porte-objectifs
  • Mode d'information couleur pour une analyse approfondie et documentation des défauts
  • Configuration sur-mesure pour application spécifique
Micro.View+ is a modular optical surface profiler for profound and detailed topography analysis
Micro.View+ est un profileur de surface optique modulaire pour une analyse approfondie et détaillée de la topographie.
TopMap Micro.View+ with automated focus tracking function
Le Focus Finder et le Focus Tracker sont idéaux pour l'inspection automatisée des surfaces.
Characterize small details and microstructures with sub-nanometer resolution; sample data of an optical polished surface
Characterize small details and microstructures with sub-nm resolution; sample data of an optical polished surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Color information mode for extended analysis and documentation of defects
Mode d'information en couleur pour une analyse approfondie et la visualisation des défauts
Detailed topography analysis of wafers, lab-on-a-chip and more
Analyse topographique détaillée de wafers, sur puce et autres
Configuration scheme of the modular optical surface profiler TopMap Micro.View+
Inspection sans contact d'une surface avec revêtement
Micro.View+ is a modular optical surface profiler for profound and detailed topography analysis
Micro.View+ est un profileur de surface optique modulaire pour une analyse approfondie et détaillée de la topographie.
TopMap Micro.View+ with automated focus tracking function
Le Focus Finder et le Focus Tracker sont idéaux pour l'inspection automatisée des surfaces.
Characterize small details and microstructures with sub-nanometer resolution; sample data of an optical polished surface
Characterize small details and microstructures with sub-nm resolution; sample data of an optical polished surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Color information mode for extended analysis and documentation of defects
Mode d'information en couleur pour une analyse approfondie et la visualisation des défauts
Detailed topography analysis of wafers, lab-on-a-chip and more
Analyse topographique détaillée de wafers, sur puce et autres
Configuration scheme of the modular optical surface profiler TopMap Micro.View+
Inspection sans contact d'une surface avec revêtement

Automatisation activée et prête pour la production

La tourelle codée et motorisée assure une transition transparente entre les objectifs. Micro.View®+ dispose des innovations « Focus Finder »  (recherche de focus) plus « Focus Tracker » (suivi du focus), gardant la surface focalisée en toutes circonstances. Les platines de positionnement des échantillons entièrement motorisées permettent le stitchinget l'automatisation.

Caractérisez les petits détails et les microstructures en 3D, évaluez la rugosité de la surface Sa avec une résolution inférieure au nm et évaluez même les angles raides avec une précision interférométrique. Micro.View et Micro.View+ sont des profileurs de surface basés sur la Coherence Scanning Technology (CSI) offrant une excellente résolution verticale quel que soit le grossissement de l'objectif. Avec technologie de balayage continu (CST), course Z de 100 mm et plage de mesure verticale égale de 100 mm, appareil photo jusqu'à 5 MP, une variété d'objectifs de 2,5X (0,6X !) à 111X, y compris des options de longue distance de travail et une compensation de verre. et des paramètres ISO prédéfinis, notamment ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287, ISO 13565, ISO 21920...

 

 

Métrologie de surface optique de la prochaine génération

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Florent Soulard

+33 (0)1 49 65 69 06
f.soulard@polytec.fr