Mesurer en 3D et en temps réel des vibrations sur des microstructures et MEMS
Les vibrations d'objets sont généralement tridimensionnelles. Elles peuvent présenter des directions préférentielles mais les tolérances de fabrication et d'autres influences entraînent des composantes de mouvement dans d'autres directions spatiales. L'analyseur de microstructures 3D MSA-100 permet d'analyser le comportement dynamique de vos objets intégralement, à large bande et en temps réel. Les composantes de vibrations dans les trois directions spatiales sont saisies simultanément et en haute résolution pour ensuite être analysées comme un ensemble de données intégrées. Vous obtenez la résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre classique, indépendamment de la direction vibratoires.
Points forts
- Mesure vibratoire en temps réel avec large bande passante allant jusqu'à 25 MHz
- Résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des mouvements hors plan et dans le plan
- Mesures monopoint sur surface complète
- Un petit point laser < 4 μm permet une haute résolution latérale
- Grandes distances de travail allant jusqu'à 38 mm
- Compatible avec des stations de diagnostic MEMS courantes
Parce que la vie réelle se déplace en 3D
Avec une haute résolution latérale obtenue par un petit spot laser microscopique et la largeur de bande de fréquence allant jusqu'à 25 MHz, le MSA-100-3D de Polytec constitue le système de mesure idéal pour la caractérisation de capteurs et d'activateurs micro électromécaniques (MEMS), d'autres micro structures ou des spécimens biologiques. Le MSA-100-3D analyse des objets sur la surface complète de l’échantillon par balayage, commandé par ordinateur, puis représente graphiquement des modes de vibrations.
Accessoires et composants
Trépieds, bancs d'essai, platines de positionnement
A-STD-TST-01 : Banc d'essai
Banc d'essai offrant un grand espace de travail. Avec axe z motorisé, course 200 mm.
A-STD-BAS-02 : Banc d'essai
Support rigide pour la tête du capteur. Comprend un bloc de mise au point manuelle avec une plage de déplacement de 100 mm avec un entraînement grossier et fin. Interfaces avec les tables optiques disponibles dans le commerce.
A-STD-F50 : Bloc de mise au point
Plage de déplacement 50 mm. Avec entraînement grossier et fin pour le réglage manuel de l'axe z de la tête du capteur. Interfaces avec les stations de sonde de wafer disponibles dans le commerce.
Table anti vibration, platine
A-TAB-AIR-01 : Table anti vibration active
Table anti vibration à amortissement pneumatique avec réglage actif du niveau. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.
A-TAB-ELC-01 : Table anti vibration active
Stabilisation de la bobine acoustique à commande électronique pour des performances d'isolation maximales. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.
A-BBO-ME02 Breadboard
Breadboard avec motif de trous métrique. Empreinte 900 mm x 600 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.
A-AVI-MELA : Breadboard d'isolation active des vibrations
Contrôlé électroniquement des performances d'isolation vibratoire les plus élevées. Avec motif de trous métrique. Empreinte 600 x 800 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.
Autres
A-SPK-0008 : Module de sonde de Wafer
Avec l'étage de positionnement XY A-PST-200P, le module sondeur de wafer forme une plate-forme motorisée pour la mise en contact électrique et la mesure de haute précision de plaquettes et de substrats jusqu'à 200 mm de diamètre.
A-SPK-0010 : Module de sonde à vide
Accessoire sous vide et ligne de purge. Micro-manipulateur pour la manipulation de quatre sondes électriques.
Produits associés
Analyseur de microstructures MSA-650 IRIS
L'analyseur de micro-systèmes innovant et breveté MSA-650 IRIS avec caméra IR dédiée et source SLD permet de mesurer la véritable dynamique des MEMS jusqu'à 25 MHz en caractérisant les mouvements dans le plan et hors du plan à travers l'encapsulation de silicium sans contact, sans qu'il soit nécessaire de préparer ni de décapsuler le dispositif.
Analyseur de microstructures MSA-600
Système de mesure tout-en-un pour la caractérisation 3D statique et dynamique des MEMS et des microstructures - maintenant jusqu'à 8 GHz. Le MSA-600 améliore les processus de développement et de contrôle qualité. Intégré aux stations sous pointes disponibles dans le commerce, il permet des tests au niveau des wafer.
Analyseur de microstructures MSA-060
Utilisez le MSA-060 pour entrer dans le monde de l'analyse des microsystèmes. Enregistrez et visualisez les vibrations et la dynamique de petits composants et microsystèmes avec une précision laser sur toute une surface, de DC à 24 MHz. Les analyseurs de microsystèmes utilisent des lasers de mesure qui révèlent la véritable dynamique des petits composants sans contact et de manière non invasive.
Logiciel PSV
Le logiciel PSV est le cœur de chaque vibromètre laser à balayage Polytec. Ce logiciel complet permet l'acquisition, l'affichage et l'édition rapides et simples des données de mesure des vibrations recueillies avec tous les vibromètres à balayage PSV, avec la gamme d'équipement pour les microstructures MSA pour les observations microscopiques ou avec la station de test automatisée RoboVib®.