MEMSや微細構造物の動的応答と表面粗さ・形状の測定
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）などの微細構造デバイスの試験や開発において、表面形状や動的運動の解析と可視化は重要な役割を担っています。MSA-600マイクロシステムアナライザは、表面形状や面内・面外運動の特性を測定するためのオールインワン光学測定ワークステーションで、FEモデルの検証、クロストーク効果の判定、表面変形の測定などに不可欠な装置です。
MSA-600-M/Vは、最大25 MHzの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロホン、その他のマイクロシステムに最適です。MSA-600-X/Uは、2.5 GHzまでの高周波および超高周波領域に対応し、高周波MEMS共振器やSAW、BAWなどのマイクロアコースティックデバイスの評価に最適なバージョンです。
MSA-600-Sは、8GHzのリアルタイム振動解析と表面形状解析に特化した光学測定ワークステーションです。FBAR（フィルムバルク音響共振器）、BAW（バルク音響波）フィルタ、SAW（表面弾性波）デバイスなどのGHz帯MEMSのテストに最適です。
特長
- マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション
- リアルタイム測定（後処理不要）
- 測定周波数帯域 最大 25 MHz（MSA-600-M / V）
- 測定周波数帯域 最大 2.5 GHz（MSA-600-X / U）
- 測定周波数帯域 最大 8 GHz（MSA-600-S）
- サブピコメートル変位分解能
- 振動形状のすばやい測定と可視化
- 直観的かつ直感的な操作
- MEMSプローブステーションとの統合が容易
- FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション
MEMSおよびマイクロ構造解析のためのオールインワン光学測定ソリューション
MSA-600 マイクロシステムアナライザは、測定の柔軟性と精度を高め、現在および将来の微細構造のニーズに対応します。マイクロシステムアナライザは、高精度な3Dダイナミックおよびスタティック応答データを提供し、デバイスの性能を向上させるとともに、開発および製造コストを削減します。そのため、設計サイクルの強化・短縮、トラブルシューティングの簡略化、歩留まりの向上が図れます。
高性能レーザドップラ振動計は、サブ pm の変位分解能で高速かつリアルタイムの応答計測を実現します。また、白色光干渉計のオプションにより、数百万単位の 3D 表面データを瞬時に取得できます。MSA-600 は、わかりやすい操作性と直感的なユーザーインターフェースにより、研究開発および品質管理における強力な光学計測ソリューションとしてご利用いただけます。一般的なプローブステーションと互換性のあるこのマイクロシステムアナライザは、MEMSのプロトタイピングからテスト、トラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階をサポートし、生産コストの削減と市場投入までの時間の短縮を支援します。
GHz帯MEMSに特化した8GHz帯テストソリューション
MSA-600-Sは、8GHzまでの振動解析と表面性状評価を可能にした、世界初の専用光学測定ワークステーションです。GHz帯デバイスの開発、形状パラメータ評価のための品質管理、デバイスの性能・信頼性試験などにご利用ください。FBAR（フィルムバルク音響共振器）などの高周波デバイスや、GHz帯の共振器、デバイスの試験が可能です。
ウェハレベルおよびシングルダイのテスト
アクセサリーとコンポーネント
光学アクセサリ
A-MOB-xxxx Bright Field Objectives
面外および面内の振動測定に。倍率は以下の通りです。1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、3.6倍、10倍と広い作業距離に対応しています。
三脚、テストスタンド、ポジショニングステージ
A-STD-TST-01 Test Stand
広々とした作業スペースを確保できるテストスタンド。電動Z軸付き、移動範囲200mm。
A-STD-BAS-02 Base Stand
センサヘッドを強固にサポートします。移動距離100mm、粗動・微動付きのマニュアルフォーカスブロックを装備。市販の光学台と接続可能。
A-STD-F50 Focus Block
移動範囲50mm。センサヘッドを手動でZ軸方向に調整するための粗動・微動ドライブ付き。市販のウェハプローバとの接続が可能。
除振台
A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table
アクティブなレベル調整が可能なエアダンピング除振台。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table
電子制御によるボイスコイルの安定化により、最高のアイソレーション性能を実現。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
A-BBO-ME02 Breadboard
台の大きさは900mm x 600mmで穴が開いています。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard
電子制御で最高の防振性能を発揮します。メートル単位での穴あけが可能です。台の大きさは600×800mm。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
その他
A-ESG-001 External Signal Generator
高周波、広帯域のサンプルの励起するためのシグナルジェネレータ。PSV Softwareによるリモートコントロール付き。
A-SPK-0008 Wafer Prober Module
ウェーハプローバモジュールは、A-PST-200P XYポジショニングステージと合わせて、直径200mmまでのウェーハや基板を電気的に接触させ、高精度に測定するための電動プラットフォームを形成します。
A-SPK-0010 Vacuum Prober Module
真空・パージライン。4つの電気プローブを扱うためのマイクロマニピュレータ。
関連製品
マイクロシステムアナライザ MSA-060
顕微鏡型レーザドップラ振動計のエントリモデルです。他のモデルはレーザが測定物表面をスキャンするのに対し、MSA-060は電動ステージによる多点計測で、DCから24 MHzの小さな部品の表面全体の振動を非接触で測定、可視化することができます。
マイクロシステムアナライザ MSA-100-3D
3Dマイクロシステムアナライザは、3つの空間方向の振動成分を一度に測定します。この光学計測システムは、面内および面外の振動成分について、サブピコメータレンジの振幅分解能で、DCから25 MHzまでの高分解能3次元振動解析を可能にします。
MSA IRIS 測定サービス
この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。
PSVソフトウェア
PSV ソフトウェア は、ポリテックのスキャニング型レーザドップラ振動計の中核となるソフトウェアです。この包括的なソフトウェア パッケージでは、すべての PSV スキャニング振動計、顕微鏡型レーザドップラ振動計の MSA マイクロシステム アナライザ シリーズ、および非接触振動測定が自動化された RoboVib® で収集された振動測定データを、高速かつシンプルに収集、表示、編集できます。