非接触表面粗さ・形状測定
精密に製造または加工された構造物の品質検査には、アプリケーションに適した、はやくて信頼性のある測定技術が求められます。製造または加工工程の早い段階で欠陥品を検出/除去できれば、歩留まりが向上し、低コストで高品質な製品を生産することができます。
ポリテックの白色干渉計を用いた非接触 表面粗さ・形状測定機 TopMapシリーズは、革新的な非接触光学技術によって、表面の粗さや、滑らかさ、段差などを高精度に検出します。品質管理の現場またはインラインで、品質検査ツールとして使用できます。
形状パラメータ、段差、粗さ、テクスチャ、精密機械、光学、微細構造など、TopMap 表面形状測定機はその測定に対応しています!
TopMap光学表面形状測定機は、大きなFOVを持つ形状パラメータやステップハイト、サブナノメートルの解像度を持つ粗さやテクスチャなど、精密機械、光学、微細構造に関するあらゆる表面形状を測定します!
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技術ガイド:光学表面形状測定アプローチの長所と短所を比較する
これら4つの一般的な表面測定法の長所と限界について、垂直方向と横方向の分解能、平滑面のスイートスポット、粗さ測定、スティッチングの有無など、技術比較で詳しくご覧ください。
- 白色光干渉法
- 共焦点顕微鏡
- 焦点変動
- クロマチック共焦点センサー