微細構造上の振動を3Dおよびリアルタイムで測定
実際の物体の振動は通常3次元です。3つの空間方向のうち最も支配的な振動方向はありますが、他の方向の微小な振動成分が製品の公差やその他に影響することがあります。 MSA-100-3Dマイクロシステムアナライザを使用すると、広い周波数帯域幅におけるサンプルの動的動作をリアルタイムに分析できます。 3つの空間方向すべての振動成分が、サブピコメートルの高い変位分解能で同時に測定され、統合データとして記録、分析されます。
特長
- 最大25MHzの高周波数帯域におけるリアルタイム振動測定
- サブピコメートルの変位分解能を実現する面外および面内振動測定
- シングルポイント測定とスキャニング測定の両方が可能
- 高い平面分解能を実現する4μm以下の小さなレーザースポット
- 38 mmの長い測定距離
- 一般的なMEMSプローブステーションとの互換性
ポリテックの 顕微鏡型レーザドップラ振動計 MSA-100-3D は、微小なレーザスポットによる高い水平方向の空間分解能と、最大 25 MHz の測定周波数帯域を備えており、微小電気機械式センサ（MEMS）やアクチュエータ 、その他の微小構造物、生体試料の特性評価に最適な測定システムです。MSA-100-3D では、ソフトウェアがサンプルをスキャンし、その振動モードをグラフィカルに表示することで、サンプルの全面的な特性評価を行うことができます。
アクセサリーとコンポーネント
三脚、テストスタンド、ポジショニングステージ
A-STD-TST-01 Test Stand
広々とした作業スペースを確保できるテストスタンド。電動Z軸付き、移動範囲200mm。
A-STD-BAS-02 Base Stand
センサヘッドを強固にサポートします。移動距離100mm、粗動・微動付きのマニュアルフォーカスブロックを装備。市販の光学台と接続可能。
A-STD-F50 Focus Block
移動範囲50mm。センサヘッドを手動でZ軸方向に調整するための粗動・微動ドライブ付き。市販のウェハプローバとの接続が可能。
除振台
A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table
アクティブなレベル調整が可能なエアダンピング除振台。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table
電子制御によるボイスコイルの安定化により、最高のアイソレーション性能を実現。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
A-BBO-ME02 Breadboard
台の大きさは900mm x 600mmで穴が開いています。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard
電子制御で最高の防振性能を発揮します。メートル単位での穴あけが可能です。台の大きさは600×800mm。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。
その他
A-SPK-0008 Wafer Prober Module
ウェーハプローバモジュールは、A-PST-200P XYポジショニングステージと合わせて、直径200mmまでのウェーハや基板を電気的に接触させ、高精度に測定するための電動プラットフォームを形成します。
A-SPK-0010 Vacuum Prober Module
真空・パージライン。4つの電気プローブを扱うためのマイクロマニピュレータ。
関連製品
マイクロシステムアナライザ MSA-060
顕微鏡型レーザドップラ振動計のエントリモデルです。他のモデルはレーザが測定物表面をスキャンするのに対し、MSA-060は電動ステージによる多点計測で、DCから24 MHzの小さな部品の表面全体の振動を非接触で測定、可視化することができます。
マイクロシステムアナライザ MSA-600
MSA-600 は、MEMS や微細構造の静的・動的な 3D 特性を測定するオールインワン光学測定ソリュー ションで、最大 8GHz まで対応します。MSA-600は、マイクロシステム開発および品質検査を強化し、市販のプローブステーションに組み込むことにより、ウェーハレベルでのテストも可能にします。
MSA IRIS 測定サービス
この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。
PSVソフトウェア
PSV ソフトウェア は、ポリテックのスキャニング型レーザドップラ振動計の中核となるソフトウェアです。この包括的なソフトウェア パッケージでは、すべての PSV スキャニング振動計、顕微鏡型レーザドップラ振動計の MSA マイクロシステム アナライザ シリーズ、および非接触振動測定が自動化された RoboVib® で収集された振動測定データを、高速かつシンプルに収集、表示、編集できます。