Tester la fiabilité et la durée de vie des MEMS
Les capteurs et actionneurs MEMS sont des éléments fonctionnels clés sur de nombreux appareils/systèmes et ont de plus en plus souvent des fonctions relatives à la sécurité. Leur fiabilité doit être garantie tout au long de la durée de vie du produit et sous des conditions d'utilisation difficiles. Un composant MEMS est vérifié par rapport à l'excitation mécanique, les effets du rayonnement, de la température et de l'humidité ainsi que la contrainte de compression, par simulation environnementale et vieillissement accéléré dans des chambres à vide ou climatiques. Par rapport aux dispositifs semi-conducteurs traditionnels, les MEMS disposent de composants mobiles, micro mécaniques comme élément fonctionnel central. La mesure du comportement dynamique et mécanique constitue une tâche importante en matière de tests de fiabilité et de durée de vie des MEMS.
Polytec Magazine
Exciting vibration
Precision vibrometry on a self-excited, multi-cantilever MEMS structure
Mesures de vitesse sur MEMS dans la chambre à vide
L'analyseur de microstructures Polytec propose un ensemble de modes de mesures pertinentes. Ce système très spécialisé dispose de lentilles spécifiques avec une distance d'utilisation suffisamment grande pour mesurer le comportement statique et dynamique de l'extérieur de la chambre d'essai. L'effet de la pression ambiante sur les propriétés dynamiques d'un composant MEMS est mesuré à l'aide d'un MSA Polytec combiné à une chambre à vide ou une station d'essai de dépression pour des mesures au niveau du wafer.
Microstructure characterization
Produits associés
Analyseur de microstructures 3D MSA-100
L'analyseur de microstructures saisit simultanément des composantes vibratoires dans les trois directions spatiales. Le système de mesure optique permet une analyse vibratoire 3D à haute résolution du courant continu jusqu'à 25 MHz avec des résolutions d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre, pour les composantes vibratoires dans le plan et hors du plan.
Analyseur de microstructures MSA-600
Système de mesure tout-en-un pour la caractérisation 3D statique et dynamique des MEMS et des microstructures - maintenant jusqu'à 8 GHz. Le MSA-600 améliore les processus de développement et de contrôle qualité. Intégré aux stations sous pointes disponibles dans le commerce, il permet des tests au niveau des wafer.
MSA IRIS service de mesure
Cette toute nouvelle technologie de mesure brevetée permet une analyse complète et représentative des MEMS encapsulés en Si, en mesurant la dynamique à travers les bouchons en silicone. Nos PolyXperts sont impatients de recevoir vos échantillons pour des tests modaux, des études de faisabilité et vous conseiller à toutes les phases, du développement au prototypage en passant par la fabrication de vos microstructures encapsulées.
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