cMUTs and pMUTs

测量 cMUT

通常结合不同的方法来测量新的超声换能器。先使用有限元模型预测传感器的特性，并将周围介质考虑在内。再使用基于显微镜的激光测振仪，如Polytec公司生产的MSA显微振动分析仪，来测量传感器表面的机械频率响应。届时，您将感叹于其大带宽和实时测量功能，尤其是其能可靠精确地测量瞬态过程。 

比利时的 IMEC公司，正是使用Polytec公司的 MSA 系统获取cMUT的振动特性，通过测量结果，使用瑞利积分法确定传输介质的空间压力场。随后，使用独立的水听器来证实测量结果。