可靠性

MEMS 传感器和致动器是许多设备和系统中的关键功能元件，并越来越多地具有安全相关功能，它们在整个服役期间往往工作环境苛刻，因此必须确保它们性能可靠、稳定。 

因此，MEMS 部件必须在这些条件下进行测试验证。在真空室或气候测试室，对MEMS模块施加如机械激励或辐射，来模拟压力负载或空气湿度影响，在加速老化试验中验证其在长时间条件下的功能稳定性。 

与传统半导体元件不同， MEMS 特征在于将移动的微机械部件作为其关键功能元件，因此，在进行可靠性和使用寿命测试时，测量机械系统动态特性的能力就至关重要。