白色干渉計
白色干渉計は、測定物からの反射光と参照光が重ね合わされたときに発生する干渉縞を利用しています。
測定原理は、マイクロレンジのコヒーレンス長を有する光源を含む光学系（画像）をもつマイケルソン干渉計の原理に基づいています。
技術ガイド：光学表面形状測定アプローチの長所と短所を比較する
これら4つの一般的な表面測定法の長所と限界について、垂直方向と横方向の分解能、平滑面のスイートスポット、粗さ測定、スティッチングの有無など、技術比較で詳しくご覧ください。
- 白色光干渉法
- 共焦点顕微鏡
- 焦点変動
- クロマチック共焦点センサー
クロマティック共焦点センサ
距離、粗さ、形状、厚さを光学的に測定するクロマティック共焦点センサは、産業界や研究機関で多く利用されています。ポリテックのクロマティック共焦点センサは、以下のような測定原理を採用しています。
表面パラメータ
平坦度、平行度、うねりなどの形状パラメータの評価や、テクスチャ、ラフネスプロファイルなどに基づいた表面構造の特性評価は、研究室や生産環境で信頼性の高い品質管理を行うために、表面測定が提供する基本的な値です。ポリテックの非接触表面粗さ・形状測定機 TopMap シリーズの表面形状測定技術の事例をご覧ください。