ポリテックテクノロジー - 白色干渉法の基礎

Whitelight-interferometry or coherence scanning interferometry measurement principle and setup based on Michelson interferometry

White-light interferometry as areal, optical 3D measurement technology

白色干渉計は、測定物からの反射光と参照光が重ね合わされたときに発生する干渉縞を利用しています。

測定原理は、マイクロレンジのコヒーレンス長を有する光源を含む光学系（画像）をもつマイケルソン干渉計の原理に基づいています。まず白色光ビームは、ビームスプリッタで測定ビームと参照ビームに分割されます。測定ビームは、測定物に照射され、参照ビームは参照用ミラーに照射されます。それぞれの反射光はカメラにおいて再結像ます。

白色光干渉計（コヒーレンススキャニング干渉計）の基本原理ビデオ

測定アーム上の測定ポイントへの光路長が、参照アーム上の光路長と同じとき、光源のスペクトルのすべての波長に干渉による強め合いが起こり、その測定ポイントのカメラピクセルの明暗度は高くなります。2つの光路長が異なるときは、カメラピクセルの明暗度は大幅に低下します。その結果、カメラは2つの光路長が等しい測定ポイントのみを記録します。

テレセントリック光学系を有する測定機器を使用すると、単一のパスで迅速に広い範囲の表面形状を測定することができます。マイケルソン干渉計がベースの顕微鏡システムは高い横分解能を必要とする測定に適しています。