MEMS・マイクロシステムの動的特性と静的特性

ポリテックの表面粗さ・形状測定機は汎用性が高く、マイクロ・ナノテクノロジー分野の測定を確実に、迅速に、高い精度で行うことができます。 たとえば、ラボオンチップのチャネルの深さを測定したり、MEMS パッケージの段差を測定したり、圧力センサの平面度を測定したり、表面パラメータを使用して MEMS を解析したりできます。 ポリテックの 顕微鏡型レーザドップラ振動計 MSA マイクロシステム アナライザ シリーズがあれば、RF フィルタの動的な面外・面内測定を行って MHz の共振周波数を測定することも、簡単にできるようになります。

3次元表面形状に関するお問い合わせ