ラボオンチップの形状パラメータとトポグラフィー測定 

マイクロ流体ラボオンチップデバイス（lab-on-a-chip;LOC）は、最小のスペースで多数のプロセスを実現します。ラボオンチップは、生物学的、化学的、物理的プロセスのプロセス分析のために、コンパクトなチップ上で液体を分析します。ラボオンチップは、数ピコリットルまたはマイクロリットルの液体の輸送に毛細管力を利用します。ポリテックの非接触表面粗さ・形状測定機 TopMapシリーズにある顕微鏡ベースの非接触表面粗さ・形状測定機を使用することで、マイクロ流体ラボオンチップチャネルの寸法公差をチェックし、ラボオンチップチャネルの深さや幅を高精度で評価し、体積を決定し、ラボオンチップ全体の平面度を測定することができます。ラボオンチップ自体の分析性能と信頼性に影響するため、ラボオンチップの平行度、ステップの高さ、平坦度が非常に厳しい公差の範囲内にあることは必要不可欠です。