ワンランク上の非接触 表面粗さ・形状測定なら

TopMap Micro.View +は、次世代の光学式形状測定器です。この総合的なワークステーションは、モジュール方式のデザインによって、それぞれのアプリケーションの要求に合わせた特有の構成を可能にします。Micro.View +は、表面粗さ、表面の詳細、および微細構造の形状測定について、詳細な分析を提供します。3D データをカラー情報と組み合わせて、欠陥を詳細に記録するなどの見事な視覚化や広範囲の分析を実現します。高解像度カメラは、非常に詳細な設計表面の 3D データを視覚化します。

特長

ナノメートルの分解能を持つハイエンド白色光干渉計

CST (Continuous Scanning Technology) による 100 mm の z 方向測定レンジ

フォーカスファインダおよびフォーカストラッカによる自動化

電動による X、 Y、 Z 位置決め、角度調整 および ターレットによる配置の省力化

欠陥を詳細に分析し記録するためのカラー情報モード

モジュール方式によるアプリケーションに合わせた構成

Micro.View+ is a modular optical surface profiler for profound and detailed topography analysis
Micro.View+ is a modular optical surface profiler for profound and detailed topography analysis
TopMap Micro.View+ with automated focus tracking function
Focus Finder and Focus Tracker are ideal for automation surface inspections
Characterize small details and microstructures with sub-nanometer resolution; sample data of an optical polished surface
Characterize small details and microstructures with sub-nm resolution; sample data of an optical polished surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Detailed topography analysis of wafers, lab-on-a-chip and more
Detailed topography analysis of wafers, lab-on-a-chip and more
Color information mode for extended analysis and documentation of defects
Color information mode for extended analysis and documentation of defects
Configuration scheme of the modular optical surface profiler TopMap Micro.View+
Modularity is key to comply with challenging surface topography analysis
Micro.View+ is a modular optical surface profiler for profound and detailed topography analysis
Micro.View+ is a modular optical surface profiler for profound and detailed topography analysis
TopMap Micro.View+ with automated focus tracking function
Focus Finder and Focus Tracker are ideal for automation surface inspections
Characterize small details and microstructures with sub-nanometer resolution; sample data of an optical polished surface
Characterize small details and microstructures with sub-nm resolution; sample data of an optical polished surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
High-resolution roughness measurement <1nm; sample data of a polished silicon surface
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Capture surface areas with high slopes and steep angles; sample data of a dental implant screw
Detailed topography analysis of wafers, lab-on-a-chip and more
Detailed topography analysis of wafers, lab-on-a-chip and more
Color information mode for extended analysis and documentation of defects
Color information mode for extended analysis and documentation of defects
Configuration scheme of the modular optical surface profiler TopMap Micro.View+
Modularity is key to comply with challenging surface topography analysis

自動化対応および生産への適用

エンコードされ電動化されたターレットは、対物レンズをシームレスに入れ換えします。Micro.View +は、最新のフォーカスファインダおよびフォーカストラッカを備えており、あらゆる状況で表面にフォーカスを合わせます。完全に電動化されたサンプル位置決めステージにより、スティッチングおよび自動化を実現します。

微細なディテールや微細構造を3Dで評価し、サブナノメートルの分解能で面粗さSaを評価し、干渉計精度で急峻な角度も評価します。Micro.ViewおよびMicro.View+は、コヒーレンス・スキャニング・テクノロジー（CSI）に基づく表面形状測定装置で、対物レンズの倍率に関係なく優れた垂直分解能を提供します。連続スキャン技術（CST）、100 mmのZトラベルと100 mmの垂直測定範囲、最大5 MPカメラ、2.5倍（0.6倍！）から111倍までの各種対物レンズ（長作動距離オプションとガラス補正を含む）、ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287、ISO 13565、ISO 21920...を含むプリセットISOパラメータを備えています。

 

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045-478-6980
info.jp@polytec.com