3D Schwingungsmessung für MEMS und Mikrosysteme
Schwingungen realer Objekte sind gewöhnlich dreidimensional. Sie können Vorzugsrichtungen aufweisen, aber Fertigungstoleranzen und weitere Einflüsse führen zu Bewegungskomponenten auch in anderen Raumrichtungen. Mit dem MSA-100-3D Micro System Analyzer analysieren Sie das dynamische Verhalten Ihrer Messobjekte ganzheitlich, breitbandig und in Echtzeit. Die Schwingungskomponenten in allen drei Raumrichtungen werden gleichzeitig und hochaufgelöst erfasst und als ein integrierter Datensatz analysiert. Die für Laser-Vibrometer typische Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich erreichen Sie unabhängig von der Schwingungsrichtung.
Highlights
- Schwingungsmessung in Echtzeit mit hoher Bandbreite bis 25 MHz
- Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich für Out-of-Plane und In-Plane Bewegungen
- Sowohl Einpunkt- als auch vollflächige Messungen
- Kleiner Laserpunkt < 4 μm ermöglicht höchste laterale Auflösung
- Große Arbeitsabstände bis 38mm
- Kompatibel mit gängigen MEMS Probe-Stations
Weil sich das wahre Leben in 3D abspielt
Zusammen mit der hohen lateralen Auflösung durch einen mikroskopisch kleinen Laserspot und der Frequenzbandbreite von bis zu 25 MHz ist das Polytec MSA-100-3D das ideale Messgerät zur Charakterisierung von mikro-elektromechanischen Sensoren und Aktuatoren (MEMS), anderen Mikrostrukturen und biologischen Proben. Das MSA-100-3D analysiert Messobjekte vollflächig durch softwaregesteuertes Scannen der Probe und anschließende grafische Darstellung der Schwingformen.
Schwingungen von Mikrostrukturen auflösen
Zubehör
Stative, Teststände, Verstelleinheiten
A-STD-TST-01 Portalstativ
Stativlösung mit besonders großem Arbeitsraum mit Motorisierter z-Achse, Verfahrweg 200 mm.
A-STD-BAS-02 Basisstativ
Stabile Stativlösung inklusive manuellem Fokussiertrieb mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 100 mm. Kompatibel mit handelsüblichen optischen Tischen.
A-STD-F50 Fokusblock
Manuelle Fokussierung mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 50 mm. Zur Ankopplung des Messkopfes an handelsübliche Wafer Probe Stations.
Schwingungsisolierung, Optische Tische
A-TAB-AIR-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
Mit Luftdämpfung und aktiver Niveauregulierung. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.
A-TAB-ELC-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.
A-BBO-ME02 Breadboard
Mit metrischen Gewindebohrungen. Grundfläche 900 mm x 600 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.
A-AVI-MELA Aktiv gedämpftes Breadboard
Mit metrischen Gewindebohrungen. Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Grundfläche 600 mm x 800 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.
Weiteres Zubehör
A-SPK-0008 Wafer-Prober-Modul
Das Wafer-Prober-Modul bildet zusammen mit dem XY-Positioniertisch A-PST-200P eine motorisierte Plattform für die elektrische Kontaktierung und hochpräzise Vermessung von Wafern und Substraten mit bis zu 200 mm Durchmesser.
A-SPK-0010 Vakuum-Prober-Modul
Vakuum- und Entlüftungsleitungen. Mikromanipulator für die Handhabung von vier elektrischen Prüfspitzen.
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