3D Schwingungsmessung für MEMS und Mikrosysteme
Schwingungen realer Objekte sind gewöhnlich dreidimensional. Sie können Vorzugsrichtungen aufweisen, aber Fertigungstoleranzen und weitere Einflüsse führen zu Bewegungskomponenten auch in anderen Raumrichtungen. Mit dem MSA-100-3D Micro System Analyzer analysieren Sie das dynamische Verhalten Ihrer Messobjekte ganzheitlich, breitbandig und in Echtzeit. Die Schwingungskomponenten in allen drei Raumrichtungen werden gleichzeitig und hochaufgelöst erfasst und als ein integrierter Datensatz analysiert. Die für Laser-Vibrometer typische Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich erreichen Sie unabhängig von der Schwingungsrichtung.
Highlights
- Schwingungsmessung in Echtzeit mit hoher Bandbreite bis 25 MHz
- Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich für Out-of-Plane und In-Plane Bewegungen
- Sowohl Einpunkt- als auch vollflächige Messungen
- Kleiner Laserpunkt < 4 μm ermöglicht höchste laterale Auflösung
- Große Arbeitsabstände bis 38mm
- Kompatibel mit gängigen MEMS Probe-Stations
Schwingungen von Mikrostrukturen auflösen
Zubehör
Stative, Teststände, Verstelleinheiten
![Portal stand for MSA Micro System Analyzer and TopMap 3D surface profiler Portal stand for MSA Micro System Analyzer and TopMap 3D surface profiler](/fileadmin/_processed_/8/a/csm_A-STD-TST-02_282727dc76.jpg)
A-STD-TST-01 Portalstativ
Stativlösung mit besonders großem Arbeitsraum mit Motorisierter z-Achse, Verfahrweg 200 mm.
![](/fileadmin/website/vibrometry/image/A-STD-BAS-02-base-stand.jpg)
A-STD-BAS-02 Basisstativ
Stabile Stativlösung inklusive manuellem Fokussiertrieb mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 100 mm. Kompatibel mit handelsüblichen optischen Tischen.
![Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec](/fileadmin/_processed_/0/e/csm_A-STD-F50-microscope-focus-block_0e1026c241.jpg)
A-STD-F50 Fokusblock
Manuelle Fokussierung mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 50 mm. Zur Ankopplung des Messkopfes an handelsübliche Wafer Probe Stations.
Schwingungsisolierung, Optische Tische
![Active vibration isolation table Active vibration isolation table](/fileadmin/_processed_/0/a/csm_A-TAB-AIR-02_d8d488c64f.jpg)
A-TAB-AIR-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
Mit Luftdämpfung und aktiver Niveauregulierung. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.
![Active electronically controlled vibration isolation table Active electronically controlled vibration isolation table](/fileadmin/_processed_/a/e/csm_A-TAB-ELC-02_5d0373af5c.jpg)
A-TAB-ELC-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.
![Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec](/fileadmin/_processed_/0/4/csm_A-BBO-ME02-breadboard_9d82171e9e.jpg)
A-BBO-ME02 Breadboard
Mit metrischen Gewindebohrungen. Grundfläche 900 mm x 600 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.
![Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec](/fileadmin/_processed_/c/2/csm_A-AVI-MELA-breadboard_b1a37bed05.jpg)
A-AVI-MELA Aktiv gedämpftes Breadboard
Mit metrischen Gewindebohrungen. Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Grundfläche 600 mm x 800 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.
Weiteres Zubehör
![Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer](/fileadmin/_processed_/2/5/csm_A-SPK-0008-wafer-probe-station_6551a4c98c.jpg)
A-SPK-0008 Wafer-Prober-Modul
Das Wafer-Prober-Modul bildet zusammen mit dem XY-Positioniertisch A-PST-200P eine motorisierte Plattform für die elektrische Kontaktierung und hochpräzise Vermessung von Wafern und Substraten mit bis zu 200 mm Durchmesser.
![Vacuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers Vacuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers](/fileadmin/_processed_/7/6/csm_A-SPK-0010-vacuum-chamber_a4128a80fa.jpg)
A-SPK-0010 Vakuum-Prober-Modul
Vakuum- und Entlüftungsleitungen. Mikromanipulator für die Handhabung von vier elektrischen Prüfspitzen.