Topografie und Dynamik von MEMS & Mikrosystemen
Mit den vielseitig einsetzbaren Oberflächenmesssystemen von Polytec lösen Sie Ihre Aufgaben in der Micro- & Nanotechnologie zuverlässig, hochgenau und schnell. So können Sie Kanaltiefen auf Ihrem Lab-on-a-Chip auswerfen lassen, die Stufenhöhe beim MEMS-Packaging bestimmen, Ebenheiten von Drucksensoren ermitteln und MEMS anhand von Oberflächenparametern analysieren. Selbst dynamische Out-of-plane- und In-plane-Messungen auf RF-Filtern zur Bestimmung von Resonanzfrequenzen im MHz-Bereich sind für Sie jetzt ein Leichtes – dank der Polytec MSA Micro System Analyzer Serie.
Unsere Lösung für Ihre Anwendung
Möchten Sie mehr über diesen Anwendungsbereich erfahren und darüber, wie unsere Produkte Sie bei Ihrer Arbeit unterstützen können?
Wir bieten individuelle Beratungen, kostenlose Machbarkeitsstudien und vieles mehr. Unsere PolyXperts unterstützen Sie auf jedem Schritt des Weges.
Anwendungen
- MEMS Drucksensoren
![Mikroskopaufnahmen eines MEMS Drucksensors mit 2,5x Vergrößerung (CIS)]( "Mikroskopaufnahmen eines MEMS Drucksensors mit 2,5x Vergrößerung (CIS)")
Mikroskopaufnahmen eines MEMS Drucksensors mit 2,5x Vergrößerung (CIS) - Durchkontaktierung (VIA)
![Microstructure inspection of VIA on an integrated circuit (IC)]()
- Drahtbonden
![Drahtbonden Qualitätskontrolle mit optischer Messtechnik]( "Drahtbonden Qualitätskontrolle mit optischer Messtechnik")
Drahtbonden Qualitätskontrolle mit optischer Messtechnik - Gedruckte und flexible Elektronik
![Qualitätskontrolle und Messtechnik für gedruckte und flexible Elektronik]( "Qualitätskontrolle und Messtechnik für gedruckte und flexible Elektronik")
Qualitätskontrolle und Messtechnik für gedruckte und flexible Elektronik - Rauheitsmessung
![Non-contact surface roughness measurement in an areal 3D profile]( "Non-contact surface roughness measurement in an areal 3D profile")
Non-contact surface roughness measurement in an areal 3D profile - Ebenheitsmessung
![Surface flatness measurement and parallellism as form parameter]( "Surface flatness measurement and parallellism as form parameter")
Surface flatness measurement and parallellism as form parameter - Stufenhöhenmessung
![Messung von Stufenhöhe, Formparameter und 3D-Oberflächentopographie]( "Messung von Stufenhöhe, Formparameter und 3D-Oberflächentopographie")
Messung von Stufenhöhe, Formparameter und 3D-Oberflächentopographie - Schichtdickenmessung
![Schichtdickenmessung optisch, interferometrisch und Messtechnik zur Erfassung der Schichtdicke]( "Schichtdickenmessung optisch, interferometrisch und Messtechnik zur Erfassung der Schichtdicke")
Schichtdickenmessung optisch, interferometrisch und Messtechnik zur Erfassung der Schichtdicke
