Charakterisierung von MEMS für Biologie und Medizin
Die Mikrosystemtechnik ist eine wichtige Grundlagen- und Querschnittstechnologie für medizinische und biologische Anwendungen unterschiedlichster Art. Die Bandbreite reicht von Lab-on-a-Chip-Anwendungen mit hochfrequenten Oberflächenwellen für medizinische Schnelldiagnostik über MEMS-Mikrofone für den Einsatz in Hörgeräten bis hin zu mikrosystemtechnisch gefertigten Ultraschallwandlern für die medizinische Bildgebung.
Setzen Sie dabei auf die berührungslose, mikroskopbasierte optische Messtechnik von Polytec um Oberflächentopografie und dynamische Eigenschaften medizinischer MEMS-Sensoren und -Aktoren zu bestimmen. Darüber hinaus wird die mikroskopbasierte Schwingungsmessung beim bionisch inspirierten „Technologietransfer“ von natürlichen in technische Systeme eingesetzt, z. B. um die Biomechanik der Hörfunktion von Insekten zu messen.
Anwendungen bei bildgebenden Verfahren und intravaskulärem Ultraschall
Mikromechanisch gefertigte Ultraschallwandler (pMUTs und cMUTs) verbessern die Möglichkeiten medizinscher 3D-Echtzeit-Bildgebung (Sonografie) in Anwendungen wie IVUS (Intravaskulärer Ultraschall) und der Echokardiographie. Um die Mikromechanik dieser Wandlerelemente zu charakterisieren, muss bei hohen Frequenzen (~10 MHz) und mit hoher räumlicher Auflösung (<1 μm) gemessen werden. Die vielfältigen Möglichkeiten des Micro System Analyzer von Polytec liefern höchst präzise und berührungslos diese Informationen für die Entwicklung von pMUTs und cMUTs.
Development of phononic surface acoustic wave devices
Phononische Surface Acoustic Wave Filter (SAW) haben ein großes Potenzial für die integrierte Point-of-Care-Diagnostik, indem sie die vom Schall getragene mechanische Energie nutzen, um flüssige Proben von Patienten auf kostengünstigen Mikrochips zu manipulieren. Forscher haben den Nachweis von Malaria [Reboud J. et al., PNAS, 2012,15162-7] aus dem Volumen eines Fingerstichs Blut mit Hilfe eines akustischen Filters. Die Laservibrometrie ist dabei ein wesentliches Werkzeug im Entwicklungsprozess, das es erlaubt, Schwingungen auf der Oberfläche über den gesamten Mikrochip hinweg zu visualisieren und so unsere Designs zu validieren. In Zukunft werden komplexere Assays auf der Plattform integriert, um Krankheiten wie Tuberkulose zu erkennen.
Microstructure characterization
Zugehörige Produkte
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.
MSA-060 Micro System Analyzer
Das MSA-060 bietet den Einstieg in die Welt der Mikrosystemanalyse. Erfassen und visualisieren Sie das Schwingverhalten und die Bauteildynamik kleiner Komponenten und Mikrosysteme vollflächig und mit Laserpräzision von DC bis zu 24 MHz. Micro System Analyzer verwenden Laserlicht, um die unverfälschte Dynamik berührungslos und rückwirkungsfrei zu charakterisieren.
MSA IRIS Messdienstleistung
Diese brandneue, patentierte Messtechnik erlaubt die umfassende Charakterisierung verkapselter MEMS durch die Silizium Kappe hindurch. Unsere PolyXperts freuen sich auf Ihre Proben verkapselter Mikrostrukturen und MEMS: für verlässliche experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung über alle Projektphasen hinweg von Entwicklung über Prototyping bis Fertigung.
Weitere Anwendungen in Mikro- und Nanotechnologie
- Wafer-level
![Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level]( "Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level")
Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level - Prototypentest
![MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium]( "MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium")
MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium - cMUTs und pMUTs
![Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells visualizing dynamic displacement]( "Laser Doppler vibrometer measurement of leaking CMUT transducer cells")
Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells, visible with a much lower dynamic displacement when operating the device - SAWs und BAWs
![Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter]( "Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter")
Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter - Mikromechanik
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Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS - MEMS Zuverlässigkeit
![Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber]( "Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber")
Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber
