SAWs berührungslos charakterisieren
Als elektronische Bauelemente, die durch akustische Oberflächenwellen funktionieren, gehören Surface Acoustic Wave-Filter (SAW) zu den mechanischen Filtern. Sie sind aus Hochfrequenzanwendungen wie dem Mobilfunk heutzutage nicht mehr wegzudenken. Die mikroakustischen Eigenschaften der SAW-Oberfläche zu optimieren, ist einer der zentralen Aufgaben bei der Entwicklung neuer SAW-Bauelemente.
Oberflächenwellen zu messen und grafisch darzustellen, stellt wegen der hohen Frequenzen, der kleinen akustischen Weglängen sowie der kleinen Schwingungsamplituden besondere Anforderungen an die Messtechnik. Eine der wenigen verfügbaren Lösungen für die Schwingungsmessung an solchen Systemen ist der Einsatz eines Laservibrometers.
Die Laser-Doppler-Vibrometer von Polytec erlauben Ihnen dabei die berührungslose Charakterisierung über alle Frequenzen und auch bei breitbandiger Anregung. Die Schwingformen werden dabei eindrucksvoll visualisiert. Auch Transienten und Relaxationsverhalten können Sie untersuchen. Wichtige Ergebnisse sind dabei Eigenschaften wie die Filtercharakteristik und Leistungsverluste (Leakage).
Polytec Magazin
Selektive Polarisationsumwandlung von akustischen Oberflächenwellen
Ein neuer Antriebsmechanismus für die Akustofluidik
Hochfrequenz-Test von SAW Sensoren im Entwicklungsprozess
Neben dem Einsatz als elektronische Filter spielen SAWs auch eine wichtige Rolle in mikrofluidischen Anwendungen. SAWs werden hierbei zur gezielten Tröpfchenmanipulation von Biomaterialien eingesetzt. Bei der Entwicklung derartiger Lab-on-a-Chip-Bauelemente wird die Untersuchung der Oberflächendynamik wegen der berührungslosen optischen Messung, der Frequenzbandbreite und der hohen Auflösung mit Hochfrequenz-Vibrometern durchgeführt.
Microstructure characterization
Zugehörige Produkte
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.
MSA-100-3D Micro System Analyzer
Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen von DC bis zu 25 MHz mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.
Weitere Anwendungen in Mikro- und Nanotechnologie
- Wafer-level
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Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells, visible with a much lower dynamic displacement when operating the device - Mikromechanik
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Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS - MEMS Zuverlässigkeit
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