MEMS auf Zuverlässigkeit und Lebensdauer testen
MEMS-Sensoren und Aktoren sind zentrale Funktionselemente in vielen Geräten und Systemen und übernehmen immer öfter auch sicherheitsrelevante Funktionen. Diese müssen zuverlässig, über die gesamte Lebensdauer des Systems und unter herausfordernden Einsatzbedingungen gewährleistet sein. Dazu wird ein MEMS-Bauteil bei mechanischer Anregung, Strahlungs-, Temperatur- und Luftfeuchtigkeitseinflüssen sowie Druckbelastung durch Umweltsimulation und beschleunigtes Altern in Vakuum- bzw. Klimakammern verifiziert. Gegenüber herkömmlichen Halbleiterbauelementen verfügen MEMS über bewegliche, mikromechanische Komponenten als zentrales Funktionselement. Das dynamische, mechanische Systemverhalten messen zu können, ist daher eine wichtige Aufgabe bei Zuverlässigkeits- und Lebensdauertests.
Polytec Magazin
Exciting vibration
Charakterisierung einer thermisch selbsterregten Multi-Cantilever-MEMS-Struktur
Schwingung an MEMS in der Vakuumkammer messen
Die MSA Micro System Analyzer Serie von Polytec bietet hierfür sämtliche relevanten Messmodi. Die hochspezialisierten Geräte verfügen über Spezialobjektive mit komfortablem Arbeitsabstand, um sowohl das statische als auch dynamische Bauteilverhalten von außerhalb der Testkammer zu messen. Die MSA Micro System Analyzer überzeugen mit präzisen Schwingungsmessungen an MEMS in Vakuumkammern. Der Einfluss des Umgebungsdruck auf die dynamischen Eigenschaften eines MEMS-Bausteins wird mit dem Polytec MSA in Verbindung mit einer Vakuumkammer gemessen, bzw. in Kombination mit einer Vakuum-Probestation für Messungen auf Waferebene.
Microstructure characterization
Zugehörige Produkte
MSA-100-3D Micro System Analyzer
Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen von DC bis zu 25 MHz mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.
MSA IRIS Messdienstleistung
Diese brandneue, patentierte Messtechnik erlaubt die umfassende Charakterisierung verkapselter MEMS durch die Silizium Kappe hindurch. Unsere PolyXperts freuen sich auf Ihre Proben verkapselter Mikrostrukturen und MEMS: für verlässliche experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung über alle Projektphasen hinweg von Entwicklung über Prototyping bis Fertigung.
Weitere Anwendungen in Mikro- und Nanotechnologie
- Wafer-level
![Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level]( "Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level")
Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level - Prototypentest
![MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium]( "MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium")
MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium - cMUTs und pMUTs
![Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells visualizing dynamic displacement]( "Laser Doppler vibrometer measurement of leaking CMUT transducer cells")
Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells, visible with a much lower dynamic displacement when operating the device - SAWs und BAWs
![Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter]( "Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter")
Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter - Mikromechanik
![Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS]( "Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS")
Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS - Bio MEMS
![Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta]( "Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta")
Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta
