cMUTs and pMUTs

超音波トランスデューサは、医療用超音波アプリケーションの代表事例です。一般的に、pMUT（圧電マイクロマシン超音波トランスデューサ）とcMUT（容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ）の2種類があります。

cMUTは、曲げモードがトランスデューサの機械的インピーダンスを減少させ、エネルギーリークを防ぐという独特な特性を持っています。半導体技術を使用した微細加工により、cMUTを手頃な価格で製造することができます。半導体スイッチング回路は大型の1Dもしくはより複雑な2Dアレイ構成になるように、同じチップ上に直接組み込まれます。

超音波トランスデューサの新製品の動作評価は有限要素シミュレーションとポリテックの顕微鏡型レーザドップラ振動計 マイクロシステムアナライザ MSAなどの顕微鏡ベースのレーザドップラ振動計を両方を使うと効果的です。有限要素シミュレーションでは、トランスデューサの挙動を予測します。一方レーザ振動計は機械的周波数応答を直接測定します。広い周波数帯域幅で時間軸波形を測定できるため、特に過渡プロセスを確実かつ正確に測定するために有用です。