MEMSの品質管理

MEMSセンサおよびアクチュエータは、多くのデバイスおよびシステムにおいて重要な機能要素であり、近年は安全性を担う機能を持ったデバイスやシステムに多く利用されています。したがって、さまざまな条件下における動作保証が必要です。

つまり、求められる条件下においてMEMSコンポーネントの動作検証が行われなければなりません。圧力負荷または空間湿度の影響をシミュレートするためには、真空チャンバまたは気圧制御チャンバ内で、機械振動またはレーザ放射などが与えられます。長期機能安定性は、加速劣化試験で検証されています。

MEMSは、従来の半導体素子とは異なり、重要な機能要素としてマイクロメカニクスを使用するため、信頼性および耐用期間のテストにおいて動的機械的システムの挙動を測定することは、非常に重要です。